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国内真空泵制造业的发展空间@@广阔@@

更新日期@@:2020-11-28  来源于@@:www.3818158.com  作者@@:  点击次数@@:335

  真空泵是一个量大面广的产品@@,产量很大@@,产值不高@@@@,但它确实是一个直接影响到真空成套设备@@性能质量的必不可少的基础产品@@。真空泵从高@@@@/超真空@@到粗@@@@/低真空@@,其产品大致可分@@14大类@@:

  高@@/超真空@@——低温泵@@、分子泵@@、溅射离子泵@@、钛升华泵@@、扩散泵@@。

  中真空@@——干泵@@、双级旋片泵@@、罗茨泵@@、油增压泵@@、水蒸气喷射泵@@。

  粗@@/低真空@@——单级旋片泵@@、滑阀泵@@、液环泵@@、往复式真空泵@@。

  真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化@@。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以@@及干泵@@和@@分子泵@@应用领域的日益扩大@@。

  目前@@,全球真空泵市场的年销售额约@@20亿美元@@,年增长率在@@7%左右@@。

  我国生产真空泵的厂家很多@@,全部真空泵的年销售额大约在@@1.5亿元左右@@@@,仅相当于美国@@Kinney公司一家真空泵的年销售额@@。通过对全球真空泵市场的分析我们可以@@看出@@,各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和@@发展@@。我国真空泵制造业有着悠久的历史和@@雄厚的基础@@,国产真泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证@@,有些泵还出口国外@@,得到国外用户的认可并受到好评@@,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间@@@@。

  1.液环泵@@

  虽然液环泵@@属于粗@@真空泵@@,但在我国的石油@@、化工@@、电力@@、轻纺@@、造纸@@、医药等领域仍然有着很大的市场@@。在国外@@,液环泵@@的销售额占全部真空泵市场的@@14%,仅次于干泵@@@@,所以@@@@Nash、Seimems和@@Kinney等公司都在我国投资建厂或建立销售网络@@,不断扩大在我国的市场份额@@。由于液环泵@@大部分是铸件@@,加工要求也不高@@@@,属劳动密集型产品@@,所以@@@@国产液环泵@@在价格上有竞争优势@@,关键是要改进设计@@,缩小体积@@,减轻重量@@,提高@@效率@@,降低能耗@@。

  2.滑阀泵@@

  由于滑阀泵@@比较耐用@@、可靠@@,国内外各种真空炉@@、镀膜机以@@及干燥@@、浸渍等设备@@都是用滑阀泵@@作为前级泵@@,但是滑阀泵@@铸件重@@,加工工作量较大@@,所以@@@@国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴@@@@。为了使国产滑阀泵@@能够进入国际市场@@,必须进一步降低泵的振动噪声@@,杜绝喷油和@@漏油@@,提高@@滑阀泵@@长期运行的可靠@@性@@。

  3.直联旋片泵@@

  随着真空技术在各个应用领域的不断扩大@@,直联旋片泵@@的需求量越来越大@@。由于这@@种泵数量很多@@,加工装配工作量很大@@,价格又很低@@,所以@@@@有的国外真空厂商在中国建立专业厂@@。国产中小型直联旋片泵@@在技术上已经过关@@,价格又远比国外的泵便宜@@,所以@@@@国产泵仍然有竞争优势@@,关键是要解决轴封漏油以@@及旋片材料和@@真空泵油的性能质量问题@@,确保直联泵在高@@速@@、高@@温下性能稳定和@@运行可靠@@@@,同时还要进一步提高@@国产直联旋片泵@@抽除水蒸气的能力@@。

  4.罗茨泵@@

  从国外罗茨泵@@生产情况来看@@,国外几家大公司@@,如@@Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和@@ULVAC,他们各家罗茨泵@@的销售额占全球罗茨泵@@销售额的比例都没超过@@5%,这@@5家总计才@@20%,罗茨泵@@产量不大@@,但国外罗茨泵@@的价格远比国产泵要高@@得多@@。目前@@,国内外几乎所有大型或小型的高@@真空和@@中真空@@系统@@,为了缩短抽气时间@@、提高@@生产效率都配有罗茨泵@@@@,所以@@@@国产罗茨泵@@一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场@@,这@@样就必须进一步降低国产罗茨泵@@的振动噪声@@,彻底解决轴封漏油问题@@,改进泵的外观质量@@,提高@@泵内的光洁度和@@清洁度@@。另外@@,还要考虑到有些国家和@@地区的电源频率为@@60Hz,更要确保罗茨泵@@在提高@@转速的情况下长期运行的可靠@@性@@。

  目前@@,国内气冷式直排大气罗茨泵@@进展很快@@,技术上已经成熟@@。由于这@@种泵在排气口的下面装有气体冷却器@@,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以@@冷却转子@@,从而使压缩热得平衡@@,所以@@@@这@@种泵可以@@直排大气@@。为了满足不同极限真空度的要求@@,这@@种泵可以@@串联使用@@,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵@@@@,所达到的极限真空要比前级泵高@@一个数量级@@。这@@种泵由于在泵腔内没有工作介质@@,实际上也是属于干泵@@@@。目前@@,这@@种气冷式直排大气罗茨泵@@及机组已经在石油@@、化工@@、塑料@@、农药@@、汽轮机转子动平衡@@、航空航天空间@@模拟等装置上得到了长期运行的考验@@,所以@@@@应该在国内大力推广和@@应用@@。

  5.分子泵@@

  分子泵@@在国外@@半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵@@@@,尤其是溅射@@、刻蚀和@@@@LCVD等装置都彩@@ 复合分子泵@@和@@牵引泵作为主泵@@。

  由于分子泵@@对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵@@抽速的四分之一@@,所以@@@@分子泵@@的排气时间比低温泵@@长@@。为了提高@@抽速@@,国外在分子泵@@的入口侧装一个@@-130℃~-150℃的低温冷板@@,称之为低温分子泵@@@@,水蒸汽被低温板捕获@@,其他气体则由分子泵@@抽走@@。这@@种低温分子泵@@在真空镀膜装置上应用@@,既提高@@了生产效率又改善了膜层质量@@。随着我国半导体工业@@、薄膜产业和@@科学研究事业迅速发展@@,分子泵@@应该是我国真空泵制造业发展的重点@@。首@@先@@,分子泵@@要从小到大建立完整系列@@,并研究开发各种复合分子泵@@@@、牵引泵和@@低温分子泵@@@@,以@@满足不同场合的需要@@。

  6.干泵@@

  国外干泵@@市场的不断增长@@,其主要驱动来自于半导体行业@@、化学工业@@、薄膜产业的迅速发展@@。在日本@@,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵@@,欧美半导体行业@@45%以@@上用干式真空泵代替了油封式机械泵@@,大大提高@@了产品的性能和@@质量@@。为了满足不同应用领域和@@不同工况的要求@@,国外有多级罗茨真空泵@@、多级爪式真空泵@@、螺杆式真空泵@@、涡旋式真空泵@@、往复式活塞真空泵以@@及涡轮式无油真空泵等@@。极限压力从@@10Pa~10-2Pa,抽速从@@20m3/h~500m3/h。据统计@@,目前@@国产干泵@@的应用还不足@@1%,国内半导体工业用的干泵@@全部从国外进口@@,其价格十分昂贵@@。所以@@@@,我国应大力研究开发干泵@@@@,使干泵@@成为我国真空工业新的经济增长点@@。